EC Series

Exhaust Pressure Controller EC-5000 Series

排気圧コントローラ

チャンバーの内部圧力を任意の値に一定に制御する排気圧コントローラです。高分解能なステッピングモーターと独自構造のバタフライバルブにより高速応答・高分解能な性能を実現しています。

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.

 

  • 高真空対応
    ステンレスボディを採用
  • 耐腐食性対応
    PTFE（ふっ素樹脂）採用モデルもラインアップ
  • 排気圧制御システムを構築
    圧力伝送器（EMTGC1B-B）
    コントローラ（PCU-3000）をラインアップ
  • RoHS指令対応

※本製品（EC-5202）は、外国為替及び外国貿易法上の規制された貨物です。海外に輸出される場合は、経済産業大臣の許可が必要となります。

 

 

 

EC-5104

取合いサイズNW40
接ガス部材質SUS-316L、バイトン®
コンダクタンス
(真空領域)		0.4 〜 80 L/s
100mmH2Oでの出流れ
(フルクローズ)

20 L/min

 

EC-5105

取合いサイズNW50
接ガス部材質SUS-316L、バイトン®
コンダクタンス
(真空領域)		0.6 〜 200 L/s
100mmH2Oでの出流れ
(フルクローズ)		25 L/min

EC-5202

取合いサイズ25mmテフロン®継手
1インチテフロン®継手
接ガス部材質PTFE、PEEK、バイトン®
コンダクタンス
(真空領域)		0.4 〜 80 L/s
100mmH2Oでの出流れ
(フルクローズ)		3 L/min

 

 

Process Control and In-situ Measurement for Photovoltaic Manufacturing Process
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〈カタログ〉EC Series

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