HD-960LR

半導体製造プロセス用　溶存酸素濃度モニター

センサー内部に新たな機構を追加したことで、電解液の変質を抑えられ、アンモニア水や特定の有機溶媒中の溶存酸素測定にも対応可能です。ファシリティからプロセスまで幅広くサポート可能です。

事業セグメント: Semiconductor

製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

センサー交換周期の低減
超純水に関しては弊社製品従来比約1.3倍、アンモニア水に関しては従来比約70倍の長寿命化であり、センサー交換周期の低減により、作業の効率化に貢献します。

特定のサンプルにも対応
超純水中溶存酸素濃度の他、低濃度アンモニア水（アンモニア濃度1%以下、試料温度25℃±2℃）、特定の有機溶媒（水よりも沸点が高い）にも対応可能です。

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