HORIBA’s chemical concentration monitors are used in critical cleaning and etching processes of high tech industries like the semiconductor manufacturing process. Our monitors measure the concentration of various chemical materials i.e. SC-1, SC-2, SPM, HF etc. in real-time.
HORIBA's chemical concentration monitors can measure single components as well as up to eight components simultaneously (depending on product model). HORIBA’s in line and offline high performance process monitors ensure a perfect match to your manufacturing process and facilities.
All our models require low maintenance and are extremely robust. They offer highly accurate and repeatable process monitoring to improve your high value process and reduce waste.
薬液モニタリングシステム
光ファイバ式薬液濃度モニター
薬液濃度モニター
SC-2モニタ
光ファイバ式薬液濃度モニター
光ファイバ式熱リン酸濃度モニター
光ファイバ式薬液濃度モニタ
薬液濃度モニター
非接触型薬液濃度モニター
HF中DOモニター /純水中DOモニター
Dissolved Oxygen Concentration Monitor Series for Semiconductor Manufacturing
半導体製造プロセス用 溶存酸素濃度モニター
カーボンセンサー導電率計 低濃度タイプ
半導体洗浄プロセス用比抵抗計
クエン酸濃度モニタ
リン酸濃度モニター
TMAH濃度モニター
高精度TMAH濃度モニター
カーボンセンサー導電率計 高濃度タイプ
カーボンセンサ導電率計
フラットカーボンセンサー導電率計
カーボンセンサー比抵抗計
2チャンネル比抵抗計
微量フッ酸濃度モニター
半導体製造プロセス用 HF濃度計
フッ酸濃度モニター
低濃度HF/HCl/NH3濃度モニター
工業用pH計
溶存オゾンモニター
過酸化水素モニター
ワンバス、マルチバス方式の洗浄装置に最適 コンパクトで高速応答のSC-1溶液濃度モニタ
半導体/FPDプロセス向超純水管理用高感度シリカモニタ
微量サンプリングpHモニタ