粒子解析総合

...など、なんでもご相談ください

＜ソリューション＞

セラミクス粒子を測定しました。粒子径分布測定装置を用いて粒子径分布を測定し、粉砕過程や分散状態を確認できます。

＜ソリューション＞

エネルギー分散型X線分析装置の粒子解析機能を用いて、広域の観察像より異物粒子を検出。
元素情報だけでなく大きさなど多様な情報を入手し、それらの情報をもとに粒子ごとのクラス分けが可能です。

＜ソリューション＞

ウェハ上に分散した付着粒子を、顕微ラマン分光装置を用いて測定しました。画像解析機能を用いて粒子の検出をし、各粒子のラマンスペクトルを自動で測定。粒子形状の情報(面積・周囲長・アスペクト比など)と合わせて、化学構造の解析が行えます。