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光ファイバ式熱リン酸濃度モニター
半導体製造プロセス、主に3次元NAND型フラッシュメモリーのSiN層※1エッチングプロセスで使用するリン酸の濃度管理に最適です。 ※1 SiN層:シリコンウエハ上などに形成されるシリコンと窒素化合物の薄膜
高濃度・高温対応循環ラインの高濃度(最大92%まで)・高温リン酸(140-170℃)を冷却せずダイレクトに測定できるため、冷却機構および冷却時間が不要です。
循環ラインの高濃度(最大92%まで)・高温リン酸(140-170℃)を冷却せずダイレクトに測定できるため、冷却機構および冷却時間が不要です。
低コンタミネーションリスクサンプル接続部にPFAを採用することで、コンタミネーションリスクを低減します。
サンプル接続部にPFAを採用することで、コンタミネーションリスクを低減します。
フィードバック制御の高速化に3秒ごとに測定データを更新するリアルタイム測定により、濃度フィードバック制御の高速化を実現しました。
3秒ごとに測定データを更新するリアルタイム測定により、濃度フィードバック制御の高速化を実現しました。
装置ダウンタイムの低減半年に一度のバックグラウンド補正周期の採用により、装置のダウンタイムの低減につながっています。
半年に一度のバックグラウンド補正周期の採用により、装置のダウンタイムの低減につながっています。
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