HE-480R（W）

半導体洗浄プロセス用比抵抗計

洗浄プロセス用超純水の純度監視に最適な比抵抗計です。

マイクロプロセッサ搭載により、プロセス中の超純水を高精度に測定します。これにより、シリコンウエハの最終洗浄水として使用される超純水などの純度監視に貢献します。

事業セグメント: Semiconductor

製品分類: Wet Process Control

製造会社: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.

高精度
超純水の温度特性をもとに、マイクロプロセッサが温度補償係数を演算し、25℃比抵抗に自動換算します。

高精度の温度補償
温度補償素子に白金測温抵抗体（Pt1000Ω）を採用することで、0～100℃の範囲で高精度な温度補償が可能となっています。

豊富な温度補償機能
純水、超純水+不純物、任意設定の温度補償の選択が可能なので、測定液に応じた温度補償が行えます。

型名	HE-480R
測定方式	電極式(2電極方式)
セル定数	0.01/cm
温度センサ仕様	白金抵抗体1000Ω/0℃
測定範囲	比抵抗　0〜0.200、0〜2.00、0〜20.00　MΩ･cm 　　　　(0〜2.00、0〜20.0、0〜200.0　kΩ･m) 但し、温度補償なしで100.0MΩ･cm(1000kΩ･m)レンジの測定が可能
測定範囲	温度　　0〜100℃(小数点以下なし、1桁、2桁選択表示可)
繰り返し性	±0.5%フルスケール以内(等価入力にて)
直線性	±0.5%フルスケール以内(等価入力にて)
出力	伝送出力:4〜20mA DC　入出力絶縁形接点出力:警報接点出力(R1、R2)
校正機能	比抵抗、温度
伝送出力ホールド機能	直前値ホールド、任意値ホールド、連続　より選択設定 (但しメンテナンスモードでは、直前ホールドになります)
自己診断機能	センサ診断、測定範囲外、A/Dコンバータスケールオーバー、変換器異常
温度補償	超純水の温度特性基準温度と温度係数任意設定
温度補償範囲	0〜100℃
超純水比抵抗選択機能	18.23(標準)、18.18、18.24MΩ･cm より選択 (182.3、181.8、182.4 kΩ･m より選択)
クリップ機能	測定値が、設定した比抵抗値から測定レンジ上限の範囲にあるとき、設定した比抵抗値を測定値として表示する
電源	定格電圧100〜 240V AC 50/60Hz 10VA(max)
保護構造	パネル部:IP65(IEC60529,JIS C0920)
適合規格	CEマーキング、FCC規則
外形寸法	48(W)×96(H)×115(D) ケース奥行:約105mm(パネルマウント時)
質量	約400g