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高精度TMAH濃度モニター
耐薬性の高いカーボンセンサーを採用し、フォトレジスト現像液の主成分TMAH溶液の高精度測定が可能です。
高精度濃度:0 - 3%、導電率: 0 - 1000 mS/cm、繰り返し性 ±0.003wt%以内でTMAH濃度測定が可能
濃度:0 - 3%、導電率: 0 - 1000 mS/cm、繰り返し性 ±0.003wt%以内でTMAH濃度測定が可能
表示レンジ自動切替高濃度から低濃度まで表示レンジを自動で切り替えします。また、有効な導電率分解能を維持しながら、変化をモニターすることも可能です。
高濃度から低濃度まで表示レンジを自動で切り替えします。また、有効な導電率分解能を維持しながら、変化をモニターすることも可能です。
3種測定TMAH濃度・導電率・温度の3種類の測定が可能です。
TMAH濃度・導電率・温度の3種類の測定が可能です。
濃度換算機能薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。
薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。
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