低濃度HF/HCl/NH3濃度モニター
耐食性に優れたセンサーにより、低濃度域のフッ酸・塩酸・アンモニアをそれぞれ高精度かつ高速応答で測定するので、ワンバス洗浄や枚葉洗浄に最適です。
5種類の測定に対応
HF濃度、HCl濃度、NH3濃度、導電率、温度の5種類の測定に対応可能です。HF濃度、HCl濃度、NH3濃度については、それぞれの温度特性データに基づき温度補償測定します。
低濃度HF濃度の高い再現性での測定
±25ppmの高再現性にて測定が可能です。表示分解能は0.5%に相当する5000ppm。低濃度化要求に対してppm表示にて対応します。
豊富な出力内容
各濃度の上限・下限のみならず濃度異常、異常サンプル測定出力など豊富な出力が可能です。（出力点数7点）
アナログ出力を濃度測定範囲で任意設定可能
測定レンジの0～200%の範囲内でアナログ出力レンジを設定することが可能なので、濃度値をより微細に出力することが可能です。
濃度換算機能
薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。特に低濃度の薬液の希釈管理には最適です。
| 製品名 | 低濃度HF/HCl/NH3濃度モニター |
|---|---|
| 型名 | HF-960M |
| 周囲温度 | −5〜45℃ |
| 相対湿度 | 20〜85％（結露しないこと） |
| 保存温度 | −25〜65℃ |
| 電源 | 定格電圧 24V DC 10W（max） |
| 外形寸法 | 96（W）×96（H）×115（D） ケース奥行：約105mm（パネルマウント時） |
| 質量 | 約550g |
| 適合規格 | CEマーキング、FCC Part15 |
