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超大型試料室モデル
大型プリント基板や半導体ウェハ、考古学試料など貴重な大型試料を非破壊で分析可能。 XGT-9000SLの試料室は、部分真空ヘリウムパージ(オプション)の条件でも行うことができます。
最大試料サイズ:500 mm x 500 mm x 500 mm[WxDxH] マッピングエリア:350 mm x 350 mm
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