Model | CS-137 | ||
CS-137-2503 | CS-137-1003 | ||
Measurement sample | BHF (Hydrofluoric acid/Ammonia fluoride solution) | ||
Measurement principle | Absorption spectrometry | ||
Concentration computation principle | Temperature-compensated multivariate analysis | ||
Measurement range | NH4F: 15.0 to 25.0 % | NH4F: 0.0 to 10.0 % | |
Reproducibility | NH4F: ±0.3 % | NH4F: ±0.3 % | |
(Peak to peak)
| HF: ±0.25 % | HF: ±0.25 % | |
Chemical | Temperature | 20 to 30 °C | |
conditions | Flow rate | 20 to 60 ml/min. | |
| Pressure | 0.10 to 0.20 MPa | |
Measurement cycle | Approx. 3 seconds minimum | ||
Equipment temperature | 20 to 30 °C | ||
Operation panel | 1)Temperature level display: 2)Alarm display (Ammonia fluoride solution, Hydrofluoric acid): 3)Alarm value settings | ||
Serial input/output | RS-232C 2)Alarm value settings | ||
Parallel input | 12 to 30 V DC (photocoupler insulated) | ||
Parallel output | Maximum current when open collector output is ON: 5 mA | ||
Analog output | 4 to 20 mA (2 outputs: NH4F concentration, HF concentration) | ||
Power | 24 V DC ±10%, 2 A | ||
Dimensions | 205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm | ||
8.1 (W) x 13 (D) x 10.6 (H) in | |||
Mass | Approx. 11 kg | ||
Connection pipe size | For inlet and outlet: Outer diameter 6 mm (inner diameter 4 mm) | ||
Pipe connection | Nippon Pillar Super type | ||
BHF 농도 모니터, CS-137
고성능 화학약품 농도분석기기인 BHF Monitor(Model: CS-137)은 반도체 공정 中 NITRIDE 공정에 사용되어지는 BHF용액, 일명 BOE (Buffered Oxide Etch)용액(NH4F+HF+H2O) 중의 각 성분의 농도값을 측정, 표시하여주는 농도분석기기로써 다양한 output제공과 뛰어난 재현성을 바탕으로 사용자분들의 BHF용액 농도관리 및 교환주기 관리를 위한 최적의 제품입니다.
Segment: Semiconductor
Division: Wet Process Control
Manufacturing Company: HORIBA Advanced Techno Co., Ltd.
- 3초의 측정 주기로 300mm 프로세스의 농도관리를 지원.
3초의 짧은 측정 주기를 실현. 실시간인 농도추종성을 대폭 향상했습니다. multibus는 물론, 원 버스 방식의 세정 장치가 세심한 농도관리를 지원합니다. - 컴팩트 설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌.
바닥면적 종래비 약 2/3(*)의 컴팩트화설계에 의해 세정 장치의 공간절약화에 공헌. 용이하게 세정 장치에 설치할 수 있습니다.
*당사제품CS-327과 비교. - 세정 공정에서의 로트 불량감소에 의해 수율 향상.
모니터 출력을 이용해서 BHF용액의 보급 제어를 행하는 것에 의해, 재현성이 높은 세정을 실현. 세정 공정에서의 로트 불량을 감소시켜, 수율 향상에 공헌합니다. - 풀 오토 측정으로, 간단관리를 실현
사용자는 BHF용액을 주입하는 것 뿐. 측정은 풀 오토이므로, 측정 시작후의 제어는 일체 불필요합니다. 또, reference 스펙트럼(spectrum) 측정은 공기를 사용하여 물의 농도도 측정가능하기 때문, 용약의 증발이나 칩으로부터의 용출에 의한 물의 농도값 얻을 수 있고, 산화 막 에칭에서 세심한 컨트롤이 가능해집니다. - 버블제거장치에 의해, 연속측정이 가능
플로우 셀 직전에 버블을 분리하기 위하여 버블제거장치을 내장하고, 액을 유실시킨 상태에서의 연속 측정이 가능하게 되었습니다. - DC24V를 채용하고, 높은 안전성을 실현