생산성향상의 요인으로, 제조설비의 고성능화와 소형화. 저렴한 비용 등이 주목받고 있습니다. 이러한 요구는 가스 공급계, 특히 핵심 장비라고 불리우는 Mass Flow Controller 의 요구와 관계가 있습니다. SEC-Eseries는 각종 버너가스의 유량제어, 퍼지가스의 유량제어, 자동화가 요구되는 유량제어설비, 소비유량의 축적유량을 파악한 설비등, 다양한 프로세스에 매력이 있는 비용으로 대응하고 있습니다.
광범위한 유량제어에 대응
같은 Series에서 0.2SCCM에서 500SLM(N2)까지의 유량제어에 대응.
폭넓은 용도에 대응
일반산업시장에서 다양한 납입실적을 자랑하고 있습니다.
비용이점을 추구한 모델을 구성:SEC-E40MK3/E50MK3
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Conversion Adapters
Display Unit
Mass Flow Checker
Monitor Unit
Accessories
Setting Units
Pressure Insensitive Mass Flow Module
희석 배기가스 분석기
High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module
Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module
Ultra-thin Mass Flow Controller
초음파 배기 유량계
Thermal Flow Splitter
High Temperature Digital Mass Flow Controller
Large Flow Liquid Source Vaporization Control System
Mixed Injection System Liquid Vaporizer
General Purpose Mass Flow Controller
Mass Flow Controller
Digital Liquid Mass Flow Meters
High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module
Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module
Thermal Flow Splitter
High Temperature Digital Mass Flow Controller
General Purpose Mass Flow Controller
Mass Flow Controller
