Mass Flow Controller 전후에 압력변동이 발생하더라도 안정된 유량제어를 할 수 있습니다. 멀티 챔버의 가스 라인은, 압력변동에 따른 Mass Flow Controller의 크로스토크 현상이 발생하기 쉽기 때문에 라인 Regulator, 압력 Sensor, Filter 가 장착되어 있습니다. 신형 Mass Flow Meter SEC-Z700 series, Criterion D200 Series는 압력변동의 영향을 받지 않으며, 매우 안정된 유량제어를 실현할 수 있는 제품입니다. 유량출력뿐 만 아니라 온도, 압력의 출력 기능도 장비하고 있습니다. 통신은 아나로그, RS-485, DeviceNet의 각종 interface를 구현하고 있습니다. 가스라인의 고성능화, 소형화, 경량화에 최적입니다.
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Mass Flow Checker
Pressure Insensitive Mass Flow Module
희석 배기가스 분석기
High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module
Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module
Ultra-thin Mass Flow Controller
초음파 배기 유량계
Thermal Flow Splitter
High Temperature Digital Mass Flow Controller
Large Flow Liquid Source Vaporization Control System
Mixed Injection System Liquid Vaporizer
General Purpose Mass Flow Controller
Mass Flow Controller
Digital Liquid Mass Flow Meters
High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module
Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module
Thermal Flow Splitter
High Temperature Digital Mass Flow Controller
General Purpose Mass Flow Controller
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