微光致發光

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微光致發光

  • SMS 系統在設計中主要使用反射光學元件,為激發 (266 nm – 1064 nm) 和發射 (250 nm – 2200 nm) 提供寬光譜範圍

  • 映射最大 300 毫米的晶圓

  • 在一個系統上使用多種不同的技術,例如基於濾光片的螢光成像和全高光譜光致發光成像

不同的半導體材料,如 ZnO、GaN、GaAs、CdTe、CIGS、InP 和 GaSb,其特徵在於 SMS 系統發射 200 nm 至 2000 nm 的光致發光。

在製造的 InP 裝置上進行的 PL 映射顯示了發射的 PL 峰值強度、峰值位置和 FWHM 及其數據的歸屬直方圖。

Photoluminescence Specifications

Spectrometer and Detectors
SpectrometersMicroHRiHR320iHR550
Excitation Lasers1266 nm, 325 nm, 405 nm, 532 nm, 633 nm, 785 nm, 980 nm, 1064 nm
Spectral Range (nm)2250 nm – 2200 nm
Recommended Gratings31800 g/mm, 600 g/mm, 300 g/mm
Spectral Resolution4 (nm)0.390.180.1
Microscope
Microscope Objectives5Magnification10X50X100X
 Spot Size (fiber-coupled)< 50 μm< 12 μm< 6 μm
 Spot Size (free space-coupled)< 10 μm< 5 μm< 2 μm
Sample StageXYZ (Manual and motorized options available) – 75 x 50 mm; 100 x 100 mm; 150 x 150 mm; 300 x 300 mm
Vision CameraSoftware controlled vision camera included

1 Other laser wavelengths available on request
2 Extension into mid IR available on request
3 Other gratings available on request
4 Based on 1200 g/mm grating at 500 nm and a 26 μm pixel CCD
5 Reflective objectives may be recommended if working in the UV or using multiple sources that cover a broad spectral range

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