OES 光譜儀

OES 光譜儀（用於 OEM 的光學發射光譜儀）針對 SEMICON 應用進行了最佳化，包括等離子體監測/終點檢測和反射測定（添加閃光燈）。 OES-Star 具有無與倫比的吞吐量和 SNR、光譜覆蓋範圍和 < 1 nm 解析度。 我們的新 OES 系列、OES-Star、VS70-MC 和 InVizU 均包含我們最新的「多通訊介面」電子設備（MC= EtherCAT、乙太網路、USB-2）。 Invizu 整合了用於 UV-VIS 的線性 CMOS 感測器和 TE 冷卻的 INGAAS 感測器，可將光譜覆蓋範圍擴展至 1700 nm。

M116 是一款新型成像多光譜光譜儀（200-1050 nm），配備高速科學 2D CMOS 感測器，可完全同時監控多個工具或等離子體的多個區域，具有 8、16 或 32 個光纖通道所獲得的。其感測器具有 < 2e- 讀出雜訊、電子快門和 USB3 介面。 為了整合到反射計中，可以根據您的要求設計客製化光纖束。