實驗室生長鑽石(LGD) 的趨勢是使用 MPCVD(微波等離子 CVD)設備,該設備透過使基底上的碳 (C) 體積化來人工生長鑽石。目前能夠生產最大20克拉的鑽石。當CH4和H2混合並被微波激發時,真空容器中會發生輝光放電。反應氣體的分子被電離並產生等離子體。
在其CVD製程中,採用了HORIBA高品質的氣體流量控制技術、壓力監測產品和壓力控制解決方案。 HORIBA 解決方案確保鑽石生長品質始終如一。
Capacitance Manometer
Exhaust Pressure Controller
發射光譜和MWL測量的終端與腔室健康監測
Quadrupole Mass Analyzer
Digital Mass Flow Controller
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