此方法使用載氣使液體材料罐內的液體氣化。多年來,它一直被用作各行業生產設施和研發設備中汽化(氣化)純水和酒精等液體的方法。近年來,它也被應用在LED生產設備中,被認為是一種汽化液體的方法。
HORIBA生產用於氣體感測器和催化劑的研究和評估的測試氣體發生系統,以及用於太陽能電池生產設備的配備鼓泡方法的設備,並積累了長期穩定發電的邏輯知識和知識。可變的發電濃度。我們也實現了用於LED生產設備的線上氣體濃度監測儀的商業化,並為採用鼓泡法的液體汽化設備提供全面支援。
Digital Mass Flow Controller
Multi Range/Multi Gas Digital Mass Flow Controller
Digital Automatic Pressure Regulator
Vapor Concentration Monitor
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