拉曼光譜儀

拉曼光譜是一種不衰減的化學分析技術，利用光的非彈性散射來研究樣品中的振動模式。拉曼光譜提供半導體行業使用的詳細信息，以優化研發流程並提高裝置產量：

HORIBA Scientific 是拉曼光譜領域的世界領導者，得益於 50 多年的技術創新。拉曼表徵可以幫助我們深入了解半導體材料的特性，例如 IV 族半導體、化合物半導體、二維材料及其裝置。


	LabRAM Soleil	LabRAM Odyssey Semiconductor
Wavelength range	300-1600 nm	200 nm-2200 nm
Motorized stage	75 mm x 50 mm or 120 mm x 80 mm	300 mm x 300 mm
Lasers	Up to 4 built-in fully motorized and computer controlled	Up to 6 fully motorized
Spectral resolution (785 nm excitation wavelength with 1800 gr/mm grating)	≤ 0.9 cm^-1	≤ 0.2 cm^-1
Spectral stability RMS (measured on Si 520 cm^-1 line)	< 0.02 cm^-1	< 0.02 cm^-1